在同等系統(tǒng)放大倍率下,，以白光干涉技術(shù)為原理的三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件,，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為<0.75%,，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差）,。載物臺(tái)尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）,；測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭）,，Z向的精度高達(dá)0.1nm。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。